济南净化车间---无尘车间

净化室环境立即危害芯片制程加工工艺产品合格率。芯片的生产制造要使用数千流程，整个过程中环境温度、气体洁净度遭受十分严谨的---，在这类环境的洁净室，根据各种各样工业设备，将晶圆片持续的运转开展生产加工，通过严谨的制程和严格的无尘室环境下进行封装形式芯片。大家都知道，空气中本就充斥着尘埃，细微到人眼不由此可见，可是这种尘埃如落在生产制造芯片的环境中，针对每一个电子管的容积它便是非常大颗粒物了，在制程中尘埃或是污染物质落到晶圆上，会导致芯片的短路故障及烧蚀等别的欠佳。 因而---芯片的高良率，就需要维护它的高生产制造环境和洁净度!

净化车间改造时应注意的结构问题---无尘车间

---无尘车间要在洁净室中安置所有---的辅助设备，通常会出现空间不够的状况。这迫使设计人员利用外部设备平台或者在屋顶上安置设备。为---建筑物结构通过改造后可以承载负荷，这就需要分析建筑物的结构。

在洁净室上方，从屋顶向下悬挂设备也是很常见的。一些建筑的---度甚至超过相关设计的要求，---支撑额外的负荷；但是，其他建筑物，---是租来的建筑物，往往只是按照居住标准设计的，无法承受额外的重量。如果有这种要求，就需要加固现有建筑物的结构，达到支撑新负载的要求。

把对振动敏感的设备安放在振动平台或者振动桌子上，可能是解决振动问题的办法。更新改造现有建筑物结构体系的成本---，在建造好的空间内，可以利用振动测试的办法把一些要求有刚性的区域找出来。

要想把某个空间改造成洁净实验室，另一个关注点是从地板到结构顶部的净空。那些来出租出售的建筑物，其高度可能低于洁净室的要求，不能为洁净室---上方留出一定的空间。十二英尺是改造成洁净室所要求的高度。可惜的是，很多写字楼和投机性建筑物楼层之间的距离只有十二英尺高，但是从房顶上向下凸出的结构性横梁的缘故，很难把这类建筑物改造成洁净实验室。

采用风机驱动的hepa过滤组件具有下列优缺点---无尘车间

安装成本比rau低；安装速度要比管道空气系统更快；随着时间的推移，如果需要改变过滤器位置，使之具有---的灵活性；停机的可能性要比单一的rau少。如果一个ffu马达不工作，气流将减少5%甚至更少；但如果一个rau风扇马达出现故障，气流减少100%。当然，风机驱动组件也存在一些缺陷：与rau系统相比，要做到控制温度和湿度的难度；由于使用了多个0.5马力的马达，因此耗电量；噪声较大，不过在近的风扇过滤器产品中，马达噪声的问题已经有了很大的---；维护成本较高，维护时间较长。